電子產業

電子產業的快速發展是由其組件的持續小型化所推動的,包括前端製造中的更小芯片、更高的芯片複雜性後端處以及印刷電路板上更高的元件密度這些進步需要不斷提高所採用的測量和運動技術的準確性。ETEL的平台除了 ETEL位置和運動控制器外,還配備HEIDENHAIN編碼器,可為這些應用提供卓越的精度和性能。

來自 NUMERIK JENA 和 RSF 的編碼器完善了這一高端解決方案。 

半導體與電子製造的關鍵產品

定位精度 的進步帶來了更高性能的 芯片和電子組件,
進而實現了 更高的定位精度。 

前端半導體製造解決方案

最佳化晶粒製造

HEIDENHAIN的開放式線性編碼器針對動態、高精度機器的使用進行了優化,包括 前端半導體製造所需的機器,它們在這些機器中可確保高度的長期穩定性並且易於安裝。

在這些應用中,不帶內置軸承的 ERP 系列模塊化光學角度編碼器可以部署在大型空心軸上,並且軸速高達 20000 rpm。它們特別低的質量和低質量慣性矩不需要額外的啟動扭矩。這對在半導體製造中使用的機器大有裨益。

ETEL 運動系統提供從獨立的 X 軸到完整的七軸系統解決方案的擴展階段,從而涵蓋半導體製造領域的廣泛應用。ETEL 在電機和電子領域的專業知識與 HEIDENHAIN的控制專業知識垂直整合,帶來了顯著優勢,例如出色的雙向可重複性 (±250 nm)。

用於後端應用的量測和動作技術

適用於各種後端應用的光學尺

用於後端半導體製造的機器和自動化系統面臨大量要求。HEIDENHAIN 與 NUMERIK JENA 和 RSF 一起提供量身訂製的光學尺,來滿足所有這些要求。從卓越的精度到超小的尺寸,任何配置都能滿足您的應用需求。 

後端應用中的高精度角度量測

高精度旋轉編碼器對於確保半導體製造應用 (例如芯片連接和封裝) 中旋轉軸的正確定位是必不可少的。HEIDENHAIN提供兩種解決方案:ERP 和 ERO 模組化光學角度編碼器或 MRP 角度編碼器模組,簡化了操作和安裝作為角度編碼器和高精度的最佳匹配組合具有經過測試和指定特性的軸承。

用於高端應用的機電動作系統

ETEL 提供範圍廣泛的運動系統。從獨立產品到高度集成的平台,其解決方案滿足半導體應用的獨特要求,機器製造商可以專注於自己的核心專業知識。快來發現 ETEL 的高性能馬達運動解決方案。

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查看亮點

後段製程應用的測量與運動技術

開放型光學尺
針對高動態製程

對於電子製造業中印刷電路板和組件上元件的安置,處理速度至關重要。HEIDENHAIN的LIC 和 LIDA 開放式光學尺以其高精度和移動速度滿足要求。NUMERIK JENA 和 RSF 的編碼器非常適合各式客製化解決方案。

精確的旋轉軸定位

ERO和ERA模組化光學角度編碼器為電子設備組裝與PCB製造設備中大型旋轉軸的首選解決方案。MRP角度編碼器特別易於操作和安裝,將角度編碼器和高精度軸承結合在一起,形成具有特定特性的整合式機器部件。 其為氣壓軸承軸的可行替代品,同時消除了昂貴的安裝後調整處理。另一種選擇為RSF的MCR 15系列角度編碼器,其具有針對電動馬達的特殊設計。 

ETEL動態移動

無論是XY工作台、龍門系統還是旋轉工作台,ETEL都為所有機器設計變化提供採用直驅馬達技術的完整動作系統解決方案。這些高精度和動態系統允許機器製造商實現任何所需動作,從具有兩線性自由度的簡單系統到具有空間線性動作和與旋轉軸組合的系統。所有ETEL解決方案都將空間使用最佳化,以實現最緊湊的機器設計。

用於高階LED和顯示技術的編碼器

精確的線性定位帶來出色的顯示效果

從智慧型手機中的小型觸控螢幕到UHD寬螢幕電視,擁有其高解析度和絢麗色彩部分歸功於LED技術生產機器的定位精度。與電子產業的其他領域一樣,HEIDENHAIN、NUMERIK JENA和RSF的外露式光學尺可提供這種定位精度。

旋轉軸的最大精度

ERO、ERP、ECA和ERA系列模組化光學角度編碼器滿足LED和顯示器生產中旋轉動作的所有精度、動態性能和可靠性要求。您總能找到特性與應用完美匹配的編碼器。

為了在編碼器的整個使用壽命期間保持高精度: 
HSP 1.0信號處理ASIC

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