高精度之量測基準
海德漢編碼器的核心部分是測量基準,通常是柵距為0.25µm到10µm的刻線。這些精確的刻線是由海德漢先進的工藝製作出來的(比如DIADUR或AURODUR工藝),它們是影響海德漢編碼器精度的決定性因素。這些刻線存在於規定的細小間隔裏,它們的邊緣清晰度很高。而且刻線抵抗機械和化學影響的能力強,抗震動和衝擊的能力也很強。有固定的熱膨脹性能。
相位光柵 | 特殊的製造工藝可以生產出有特定光學特性的3D柵格。這些柵格的寬度在幾個微米到四分之一微米之間。 |
SUPRADUR | SUPRADUR工藝製造出來的柵格很像3D光柵,但它們只有平面結構,所以抗污染能力很強 |
MAGNODUR | 只有幾個微米的非常薄的磁性層上有很精細的磁柵。 |
DIADUR | DIADUR精確刻線由基體上非常薄的鉻層構成,通常材質為玻璃或玻璃陶瓷。刻線的精度在微米和次微米的範圍內。 |
AURODUR | AURODUR刻線是由高反射率的金箔腐蝕所構成。AURODUR刻線的材質通常是鋼。 |
METALLUR | With its special optical composition of refl ective gold layers, METALLUR graduations show a virtually planar structure. They are therefore particularly tolerant to contamination. |
